半导体制造工艺

书籍简介:

本教材简要介绍了半导体器件基本结构、半导体器件工艺的发展历史、半导体材料基本性质及半导体制造中使用的化学品，以典型的CMOS管的制造实例为基础介绍了集成电路的制造过程及制造过程中对环境的要求及污染的控制。重点介绍了包括清洗、氧化、化学气相淀积、金属化、光刻、刻蚀、掺杂、平坦化几大集成电路制造工艺的工艺原理工艺过程，工艺设备、工艺参数、质量控制及工艺模拟的相关内容。

书籍规格:

书籍信息归属:

半导体制造工艺是机械工业出版社于2015.8出版的中图分类号为 TN305 的主题关于 半导体工艺－高等职业教育－教材 的书籍。