出版社：科学出版社
年代：2016
定价：98.0
本书是面向从事材料合成与制备领域的科研工作者、工程技术人员和研究生（高年级本科生）介绍原子层沉积技术－原理及其应用，分为十一章，既有原子层沉积的发展历史、基本原理、特点和种类，又涉及原子层沉积的前驱体和生长材料，也包含了原子层沉积的理论模拟和等离子增强的原子层沉积技术，最后又着重突出了原子层沉积在不同领域的应用。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 原子层沉积技术站内查询相似图书 | ||
| 丛书名 | 南京大学材料科学与工程系列丛书 | ||
| 9787030483751 如需购买下载《原子层沉积技术》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 科学出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 98.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 24 × 17 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 382 | 印数 | |
原子层沉积技术是科学出版社于2016.6出版的中图分类号为 TB3 的主题关于 原子－沉积－技术－高等学校－教材 的书籍。