出版社：东北林业大学出版社
年代：2019
定价：98.0
本书的内容包括：针对45 nm节点投影光刻物镜的应用, 开展了工作波长为193 nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜, 并对两个设计方案的优劣进行对比分析, 选择了同轴式结构作为最终的设计方案，等等。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计站内查询相似图书 | ||
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| 出版地 | 哈尔滨 | 出版单位 | 东北林业大学出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 98.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 24 × 17 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 印数 | ||
高数值孔径投影光刻物镜的光学设计是东北林业大学出版社于2019.5出版的中图分类号为 TH74 的主题关于 投影光刻物镜－光学设计 的书籍。