出版社：电子工业出版社
年代：2004
定价：59.0
本书介绍了微电子器件衬底材料性能、加工工艺与测试技术。全书共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 微电子技术工程站内查询相似图书 | ||
| 丛书名 | 微电子技术系列丛书 | ||
| 9787120000219 《微电子技术工程》pdf扫描版电子书已有网友提供下载资源链接 | |||
| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 电子工业出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 59.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 26 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 印数 | 5000 | |