MEMS多晶圆旋转机械

书籍简介:

第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件，如线圈和磁芯，形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。第8章介绍了MEMS发电机的工作原理。第9章重点介绍了MEMS的尺度燃烧。

书籍规格:

书籍信息归属:

MEMS多晶圆旋转机械是国防工业出版社于2016.6出版的中图分类号为 TM38 的主题关于 微电机 的书籍。