出版社：西北工业大学出版社
年代：2018
定价：48.0
稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工序能力指数，常规过程控制技术，特殊过程控制技术，实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 半导体制造工艺控制理论站内查询相似图书 | ||
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| 出版地 | 西安 | 出版单位 | 西北工业大学出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 48.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 26 × 19 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 印数 | ||
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