聚合物微纳制造技术

第1章绪论1.1微纳制造概论1.2聚合物微纳制造发展简史1.3聚合物微纳制造方法概述参考文献第2章聚合物材料结构特征与性能2.1聚合物材料的特点与分类2.2微纳领域常用的聚合物材料2.2.1聚甲基丙烯酸甲酯2.2.2聚酰亚胺2.2.3聚对二甲苯2.2.4聚二甲基硅氧烷2.2.5光敏聚合物2.3聚合物材料的玻璃化转变2.3.1描述热塑性聚合物玻璃转化的理论2.3.2聚合物分子链刚性对玻璃转化温度的影响2.3.3聚合物分子量对玻璃转化温度的影响2.3.4聚合物分子结构对玻璃转化温度的影响2.3.5交联度对玻璃转化温度的影响2.4热塑性聚合物材料的高弹态力学性能2.4.1高弹性2.4.2热弹逆变现象2.5聚合物熔体的流变特性2.5.1聚合物熔体流动传输方程2.5.2聚合物熔体本构关系参考文献第3章微注塑成型3.1微注塑成型的应用背景3.2微注塑成型的特征3.3微注塑成型计算机辅助设计方法3.4微注塑成型模具制造方法3.4.1微注塑成型模具组成3.4.2微模具型芯材料选择和加工方法3.5微注塑机3.6微注塑成型模具设计与注塑工艺优化3.6.1微注塑成型模具设计3.6.2微注塑成型工艺参数优化参考文献第4章微热压成型4.1聚合物微热压形变填充机理4.2微热压中聚合物形变填充理论模型4.2.1玻璃态应力模型4.2.2高弹态应力模型4.2.3应变模型4.3热塑性聚合物热压形变填充的数值模拟4.4玻璃态／高弹态聚合物热压形变填充实验4.5微热压成型设备4.6微热压模具制作技术4.7微热压成型工艺正交试验参考文献第5章软刻蚀方法5.1PDMS弹性印章及其他PDMS微器件的制造方法5.1.1PDMS固化机理5.1.2PDMS模塑成型工艺步骤5.1.3PDMS表面改性5.1.4PDMS微纳器件封合方法5.1.5典型PDMS微纳器件与单元5.2微接触印刷法5.3转移微模塑法5.4毛细微模塑法5.5溶剂辅助聚合物微模塑参考文献第6章高能束微纳刻蚀6.1激光刻蚀6.1.1激光刻蚀的概念与特征6.1.2CO2激光刻蚀6.1.3准分子激光刻蚀6.1.4飞秒激光刻蚀6.2电子束和聚焦离子束刻蚀6.2.1电子束刻蚀6.2.2聚焦离子束刻蚀6.3等离子体刻蚀参考文献第7章聚合物微纳器件封合与集成7.1热键合封合7.1.1直接热键合7.1.2辅助热键合7.1.3多层微流控芯片热键合7.2激光焊接7.3直接黏接法7.4超声波焊接7.5聚合物表面的金属图形化7.5.1易腐蚀金属的湿法腐蚀工艺7.5.2惰性金属的剥离工艺7.5.3化学镀工艺参考文献第8章聚合物微流控芯片及应用8.1聚合物微流控芯片概述8.2微流控芯片中流体流动与物质输运8.2.1微流控芯片中流体流动现象8.2.2微流控芯片中样品输运现象8.2.3微流控芯片中液体流动和样品输运特点8.2.4描述微流控芯片中液体和样品输运的无量纲数8.3微流控芯片单元技术8.3.1过滤8.3.2富集浓缩8.3.3微混合8.3.4分离单元8.3.5检测方法8.4微流控芯片应用现状8.4.1临床疾病诊断方面8.4.2食品安全方面8.4.3环境监测领域8.5展望参考文献第9章聚合物在微小型燃料电池中的应用9.1微型质子交换膜燃料电池概述9.1.1发展历程9.1.2结构和工作原理9.1.3应用前景9.2聚合物流场板的应用9.2.1燃料电池流场板功能9.2.2聚合物流场板制作方法9.2.3聚合物流场板导电增强方法9.2.4基于聚合物流场板的微型燃料电池9.3质子交换膜9.3.1全氟质子交换膜9.3.2全氟质子交换膜的改性9.3.3质子交换膜厚度对微型燃料电池性能的影响9.4聚合物微封装技术9.4.1微封装工艺流程9.4.2封装应力对微型燃料电池性能的影响9.4.3封装聚合物特性9.5应用实例9.5.1环氧树脂封装孪生MEMS微型燃料电池9.5.2次瓦级孪生电池堆9.5.3气液自驱替燃料电池堆参考文献

　　《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：聚合物微纳制造技术》总结了作者王立鼎、刘冲、徐征、李经民、刘军山等十年来在聚合物微纳制造方面的科研成果，并介绍了国内外在这方面最新研究成果和发展动态，力求全面反映聚合物微纳制造技术最新发展水平。阐述了聚合物微纳制造的各项关键技术，涵盖了聚合物材料特性、微纳成形工艺技术及设备、高能束刻蚀、封合连接技术及设备等，并对聚合物微纳技术典型应用情况进行了总结。目的是使读者能够切实和全面地了解聚合物微纳制造技术的原理和最新进展。