SiC材料表面处理

书籍简介:

针对当前飞秒激光微加工的热点问题，本书主要介绍了飞秒激光在半导体材料表面快速、高效制备高精度、高质量表面周期微纳米结构的方法，通过泵浦—探测技术和飞秒激光多维光场的精准操控，在SiC材料表面制备了高质量的微纳米颗粒结构、光栅状表面周期条纹结构和二维“微岛”阵列结构，系统探究了光场操控对材料界面微纳米结构的调控机制；分析并讨论了表面等离激元与瞬态折射率光栅超表面在激光诱导表面周期结构形成过程中的重要作用，并基于飞秒激光多光束泵浦—探测技术，获得了超强飞秒激光脉冲辐照半导体材料表面瞬态物理过程随时间的演化图景。

书籍规格:

书籍信息归属:

SiC材料表面处理是中国石化出版社于2020.4出版的中图分类号为 TG17 的主题关于 纳米技术－应用－金属表面处理－研究 的书籍。