类金刚石薄膜的制备、结构与性能研究

书籍简介:

类金刚石（Diamond like Carbon，DLC）薄膜，是一种主要由金刚石相的sp3杂化键和石墨相的 sp2杂化键组合而成的亚稳态非晶薄膜材料，可含有一定量的氢。DLC 薄膜材料结构和种类的多样性使得其兼具许多优异的功能特性，如高硬度、低摩擦、高耐磨、优异化学惰性和耐腐蚀等性能，在航空航天、汽车、生物医药、光学等领域具有广阔的应用前景。作为目前最具工程化应用前景的一种新型碳基功能薄膜材料，备受世界各国和企业界的关注。本书主要是作者结合近些年从事DLC膜研究的科研经历与实践，介绍DLC膜的研究结果，希望能为DLC膜在机械与光学领域的应用提供基础理论和技术指导。本书共分七章：第 1 章简要介绍类金刚石膜的组成、分类、性质、应用、制备方法、应用中存在的问题及解决方法；第 2 章主要介绍中频脉冲非平衡磁控溅射技术与采用的测试方法的原理与设备型号；第 3 章主要通过文献调研并结合作者的科研结果探索了一种拉曼光谱分析DLC膜中sp3含量的新经验模型；第 4章主要介绍了基体偏压、梯度偏压、基体温度、中频电流、靶-基距对非氢DLC膜的结构与性能的影响规律；第5 章主要介绍了碳源气体、沉积气压、进气比例对含氢DLC膜的结构与性能的影响规律；第 6 章本章主要介绍了 Ge和ZnSe基体上涂覆GexC1-x/DLC膜系前后透过率的变化、砂尘冲刷实验和淋雨实验结果；第 7 章介绍了本书的研究结论。

书籍规格:

书籍信息归属:

类金刚石薄膜的制备、结构与性能研究是中国原子能出版社于2020.8出版的中图分类号为 TB43 的主题关于 类金刚石膜－研究 的书籍。