金属有机物气相外延

金属有机物气相外延

(美) 杰拉尔德·B.斯特林费洛, 著

出版社:北京大学出版社

年代:2016

定价:91.0

书籍简介:

本书作为金属有机物气相外延(OMVPE或MOCVD)基础理论和应用实践方面的教学参考书,适用于材料物理,材料化学和电子专业的本科生和研究生。同时也适合作为OMVPE生产和研发人员的工具书。本书第一章首先总揽了OMVPE的生长过程,并和其他的外延工艺做细致的比较。第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面:热力学(第二章),表面物理过程(第三章),反应源(第四章),动力学(第五章)以及流体力学和质量输运(第六章)。

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书籍详细信息
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丛书名中外物理学精品书系
9787301275177
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出版地北京出版单位北京大学出版社
版次1版印次1
定价(元)91.0语种简体中文
尺寸19 × 13装帧平装
页数 536 印数 2000

书籍信息归属:

金属有机物气相外延是北京大学出版社于2016.10出版的中图分类号为 O627 的主题关于 有机金属化合物-气相外延生长 的书籍。