多晶硅生产技术

多晶硅生产技术

刘秀琼, 主编

出版社:化学工业出版社

年代:2019

定价:39.0

书籍简介:

本教材主要讲述改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程,主要包括三氯氢硅的合成、精馏提纯,三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容,同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。教材紧密结合生产实践,注重理论与实践的有机结合。

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书籍详细信息
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9787122358011
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出版地北京出版单位化学工业出版社
版次2版印次1
定价(元)39.0语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

多晶硅生产技术是化学工业出版社于2019.11出版的中图分类号为 TN304.1 的主题关于 半导体材料-硅-生产技术-高等职业教育-教材 的书籍。