出版社：国防工业出版社
年代：2012
定价：35.0
对可靠性的研究是MEMS惯性器件发展中的一项瓶颈技术，本书对MEMS惯性器件的典型结构进行了系统的失效模式与影响因素的研究。没有对MEMS失效的具体研究，就无法实现MEMS的大规模的商业化生成和应用。本书对MEMS中的典型结构进行了大量的理论分析的，并提出失效分析的方法和理论。又以具体科研项目中所使用的加速度计、陀螺仪这样的常用器件为例进行的模拟仿真验证。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | MEMS惯性器件典型结构失效模式站内查询相似图书 | ||
| 9787118072280 如需购买下载《MEMS惯性器件典型结构失效模式》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 国防工业出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 35.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 20 × 14 | 装帧 | 精装 |
| 页数 | 175 | 印数 | |
MEMS惯性器件典型结构失效模式是国防工业出版社于2012.5出版的中图分类号为 TN965 的主题关于 微电子技术－惯性元件－研究 的书籍。