出版社：复旦大学出版社
年代：2020
定价：168.0
本书在阐述集成芯片制造主要工艺技术的同时，将结合集成芯片制造工艺演进道路，讨论集成芯片技术的独特发展规律，着力分析各种工艺的物理、化学原理与规律。本书将特别关注进入21世纪以来正在发展的集成芯片制造技术的新结构、新材料、新工艺和新趋势，介绍包括高密度超微型立体晶体管和纳米CMOS等集成器件的典型结构与制造工艺。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 硅基集成芯片制造工艺原理站内查询相似图书 | ||
| 丛书名 | 复旦博学 | ||
| 9787309149951 如需购买下载《硅基集成芯片制造工艺原理》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
| 出版地 | 上海 | 出版单位 | 复旦大学出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 168.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 19 × 26 | 装帧 | 精装 |
| 页数 | 印数 | ||
硅基集成芯片制造工艺原理是复旦大学出版社于2020.5出版的中图分类号为 TN43 的主题关于 硅基材料－集成芯片－制造 的书籍。