微纳制造前沿应用

书籍简介:

本教材主要介绍了微纳制造技术的概念、内涵、主要应用，微纳制造技术的研究范围，微纳制造技术的发展历史，微纳制造技术发挥的作用以及发展趋势。由航空发动机入手，介绍其关键部件涡轮叶片的工作环境，由此分析加工要求和检测技术需求，介绍超精密加工技术的概念与内涵、发展与现状，基本原理，并介绍了哈勃望远镜、神光三号、航空发动机叶片三种具体应用。同时，从微电子目前的技术手段现状和缺点入手，引出纳米压印技术的产生、发展和意义，然后介绍纳米压印的原理和关键技术、特点，纳米压印技术及分类，接着介绍了纳米压印技术在生物医疗、光学、电子学、信息存储等领域的典型应用，并已纳米压印制备光子晶体LED、紫外压印技术制备相变存储阵列、微接触压印法制备ZnO纳米线阵列为例，分别介绍了主要工艺步骤，最后给出了技术发展展望。

书籍规格:

书籍信息归属:

微纳制造前沿应用是北京工业大学出版社于2020.7出版的中图分类号为 TB383 的主题关于 纳米技术－研究 的书籍。