微系统和纳米技术

编者的话

第一篇微系统和纳米技术基础

第1章纳时代的信息电子学

第2章微/纳流体力学

第3章微系统中的材料问题

第4章微机电系统的数值仿真方法

第5章多学科交叉中的纳米力学

第6章纳米结构与单分子的电子输运性质

第7章纳米材料的结构分析和表征

第二篇微系统

第8章MEMS介绍

第9章微机电传感器

第10章微致动器

第11章MEMS设计

第12章微型电系统的加工制造工艺和技术

第13章光MEMS和纳米光子

第14章MEMS封装介绍

第三篇纳米技术

第15章纳米管、纳米线和纳米带

第16章半导体纳米晶体量子点、量子线、量子棒

第17章STM和AFM在纳米加工和制造中的应用

第18章纳米尺度制造

第19章基于微机电系统造工艺的集成纳米技术

第四篇微系统和纳米技术应用

第20章微机电系统的应用

第21章微机电传感系统

第22章集成CMOS检测电路的表面微机械加速度计

第23章汽车的MEMS

第24章生物芯片

第25章纳米技术在生物和医学中的应用

第五篇发展和展望

第26章发展和展望

　　本书由浅入深，图文并茂。收录众多在第一线耕耘的作者的科技成果和亲身体验是本书的重要特点，书中还邀请了美、德、英、日和我国的权威专家畅谈他们数十年从事微系统研究的经验和对未来的展望，从科技发展的规律说明微米纳米科技发展的阶段性和成熟周期。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。　　微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。本书南40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望五个部分，共26章。全书统一规划，各章独立，由浅入深，图文并茂。收录众多在第一线耕耘的作者的科技成果和亲身体验是本书的重要特点，书中还邀请了美、德、英、日和我国的权威专家畅谈他们数十年从事微系统研究的经验和对未来的展望，从科技发展的规律说明微米纳米科技发展的阶段性和成熟周期。