现代高纯气体

书籍简介:

本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等，无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心，在制取高纯气体方面，本书介绍国内外最新文献，包括：吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是气体分析的主体外，书中介绍最新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体，使用的安全措施尤为重要，其内容还包括：容器、介质、传感器和废气的节能减排。

书籍规格:

书籍信息归属:

现代高纯气体是科学出版社于2015.6出版的中图分类号为 TQ116 的主题关于 气体－化工生产 的书籍。