TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器

TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器

张辉军, 著

出版社:黑龙江大学出版社

年代:2013

定价:16.0

书籍简介:

采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右,结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附,获得优良的气体灵敏度的结构特点。

书籍目录:

第1章 气体传感器研究概述

1.1 半导体气体传感器简介

1.2 宽禁带TiO2纳米半导体材料

1.3 国内外TiO2气体传感器的研究进展

1.4 研究的目的及意义

第2章 薄膜特性分析与Si/TiO2异质结构的能带

2.1 TiO2的晶格结构

2.2 氧传感器的薄膜敏感原理

2.3 薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算(一维近似)

2.4 Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构

2.5 Si/TiO2异质结构的能带图

第3章 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制

3.1 氧传感器的基本结构

3.2 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺

3.3 宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制

3.4 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制

第4章 TiO2纳米层壳结构薄膜的制备

4.1 W-TiO2薄膜的制备与分析

4.2 Pt-TiO2薄膜的制备与分析

4.3 TiO2纳米球壳的制备与分析

4.4 TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与sEM分析

第5章 氧传感器性能的测定与分析

5.1 工作温度对基准电流的影响

5.2 环境湿度对基准电流的影响

5.3 输出曲线的测量

5.4 选择性

5.5 响应一恢复时间

参考文献

后记

内容摘要:

《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右,结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附,获得优良的气体灵敏度的结构特点。《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》讨论了采用MEMS技术和CMOS工艺相结合制作的Ti02纳米层壳结构薄膜氧传感器,该传感器可利用异质结构电传输及纳米球壳的纳米效应实现O2检测。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787811296235
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出版地哈尔滨出版单位黑龙江大学出版社
版次1版印次1
定价(元)16.0语种简体中文
尺寸21 × 15装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器是黑龙江大学出版社于2013.11出版的中图分类号为 TP212 的主题关于 传感器 的书籍。