(英) 加德纳, (美) 瓦拉丹, (美) 阿瓦迪里姻, 著
出版社：中国计量出版社
年代：2006
定价：65.0
本书主要内容为电子材料与加工技术、标准微电子工艺、微传感器等。
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微传感器 微电子机械系统与智能器件是中国计量出版社于2007.01出版的中图分类号为 TH-39 ,TP212 的主题关于 微电子技术－电子机械－机械系统 ,微型－传感器 的书籍。
姜岩峰, 编著
国家自然科学基金委员会, 中国科学院, 编
湛邵斌, 聂萌, 著
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(荷) 埃尔文斯波克, (荷) 威杰林克, 著
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(法) 尼库, (法) 雷克列, 著