微系统设计导论

书籍简介:

本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件（如膜片、微梁）、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。

书籍规格:

书籍信息归属:

微系统设计导论是清华大学出版社于2018.出版的中图分类号为 TN40 的主题关于 微电子技术－设计 的书籍。