集成电路制造工艺技术体系

书籍简介:

本书从三方面来系统地论述集成电路的制造技术。首先是制造对象，也就是基础器件及其所组成的集成电路。从产业制造来看，所有集成电路制造，其目标都是特定的工艺结构；本书对于工艺结构以及结构所对应的电子器件特性进行了深入的分析与揭示。其次是生产制造本身。详细讨论了集成电路各单步工艺作用的本质性特征及各不同工艺技术在成套流程中的作用；讨论了高端制造的组织，调度和管理，工艺流程的监控，工艺效果分析与诊断等内容。最后是支撑半导体制造的设备设施。该部分的论述是比较简明的，但是也从整体和系统的角度，突出了制造设备的若干要素。

书籍规格:

书籍信息归属:

集成电路制造工艺技术体系是科学出版社于2016.10出版的中图分类号为 TN405 的主题关于 集成电路工艺 的书籍。