半导体锗材料与器件

半导体锗材料与器件

(比) 克莱, (比) 西蒙, 著

出版社:冶金工业出版社

年代:2010

定价:70.0

书籍简介:

本书全面系统介绍了有关锗晶体生长、长入缺陷和工艺导致缺陷、不同材料、工艺相关问题直至最现代的ULSI器件等所有方面。第一章至第七章更多考虑引导性叙述,包括基础材料、缺陷和器件等内容。第八章到第十二章则偏重应用和工艺技术。最后在第十三章进行总结并展现了锗作为微电子材料的前景。

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书籍详细信息
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9787502451752
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出版地北京出版单位冶金工业出版社
版次1版印次1
定价(元)70.0语种简体中文
尺寸24 × 17装帧平装
页数印数 1200

书籍信息归属:

半导体锗材料与器件是冶金工业出版社于2010.4出版的中图分类号为 TN304.1 的主题关于 锗-半导体材料 ,锗-半导体器件 的书籍。