有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法

有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法

刘杨, 付雪微, 著

出版社:哈尔滨工程大学出版社

年代:2017

定价:39.8

书籍简介:

本文以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景,针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题,进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。

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书籍详细信息
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9787566117137
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出版地哈尔滨出版单位哈尔滨工程大学出版社
版次1版印次1
定价(元)39.8语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法是哈尔滨工程大学出版社于2017.10出版的中图分类号为 TM359.4 的主题关于 直线电机-推力-波动力学-研究 的书籍。