基于MEMS技术的热梯度器件研究

基于MEMS技术的热梯度器件研究

聂金泉, 著

出版社:中国水利水电出版社

年代:2018

定价:39.8

书籍简介:

本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。采用MEMS微加工技术加工和制作微流控系统的微加热芯片和玻璃-PDMS微通道芯片,开发了工艺流程,分析了关键工艺步骤,通过微加热芯片的引线键合,完成了微流控系统的构建。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787517072997
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出版地北京出版单位中国水利水电出版社
版次1版印次1
定价(元)39.8语种简体中文
尺寸24 × 17装帧平装
页数印数 200

书籍信息归属:

基于MEMS技术的热梯度器件研究是中国水利水电出版社于2018.12出版的中图分类号为 TH-39 的主题关于 微机电系统-工艺过程设计-研究 的书籍。