出版社：化学工业出版社
年代：2006
定价：
本书介绍了微电子机械系统的基础知识、主要工艺和器件结构等。
| 书籍详细信息 | |||
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| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 化学工业出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 语种 | 简体中文 | |
| 尺寸 | 26 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 印数 | 5000 | |
微电子机械系统是化学工业出版社于2006.01出版的中图分类号为 TH-39 的主题关于 微电子技术－电子机械－机械系统 的书籍。