化合物半导体加工中的表征

化合物半导体加工中的表征

(美) 布伦德尔 (Brundle,C.R.) , (美) 埃文斯 (Evans,C.A.) , (美) 麦克盖尔 (McGuire,G.E.) , 主编

出版社:哈尔滨工业大学出版社

年代:2013

定价:68.0

书籍简介:

化合物半导体加工中的表征一书是为使用化合物半导体材料与设备的科学家与工程师准备的,他们并不是表征专家。在研发与GaAs、GaA1As、LnP及HgCdTe基设备的制造中通常使用的材料与工艺提供常见的分析问题实例。这本书讨论了各种表征技术,深入了解每种技术是如何单独或结合使用来解决与材料相关的问题。这本书有助于选择并应用适当的分析技术在材料与设备加工的各个阶段,如:基体处理、外延生长、绝缘膜沉积、接触组、掺杂剂的引入。

书籍目录:

Preface to the Reissue of the Materials Characterization Series ix

Preface to Series x

Preface to the Reissue of Characterization of Compound

Semiconductor Processing xi

Preface xiii

Contributors xv

CHARACTERIZATION OF III—V THIN FILMS FOR

ELECTRONIC DEVICES

III—V COMPOUND SEMICONDUCTOR FILMS FOR

OPTICAL APPLICATIONS

CONTACTS

DIELECTRIC INSULATING LAYERS

OTHER COMPOUND SEMICONDUCTOR FILMS

DEEP LEVEL TRANSIENT SPECTROSCOPY: A CASE STUDY

ON GaAs

APPENDIX: TECHNIQUE SUMMARIES

内容摘要:

《化合物半导体加工中的表征(英文)》的主要内容包括: Preface to the Reissue of the Materials Characterization Series ix;Preface to Series x;Preface to the Reissue of Characterization of CompoundSemiconductor Processing xi;Preface xiii;Contributors xv等。

书籍规格:

书籍详细信息
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丛书名材料表征原版系列丛书
9787560342818
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出版地哈尔滨出版单位哈尔滨工业大学出版社
版次1版印次1
定价(元)68.0语种英文
尺寸23 × 16装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

化合物半导体加工中的表征是哈尔滨工业大学出版社于2013.11出版的中图分类号为 TN304.2 的主题关于 化合物半导体-半导体材料-研究-英文 的书籍。