出版社：电子工业出版社
年代：2017
定价：45.0
本书主要内容包括：（1）初步掌握半导体薄膜器件的基本工艺，特别是与集成电路器件工艺过程相关知识。（2）硅基半导体衬底晶体材料的生长技术。（3）各种半导体薄膜材料常用的制备技术，如：物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、分子束外延（MBE）、液相外延（LPE）、各种溅射沉积技术等，需要重点掌握这些制备技术的特点、工作原理和工艺过程，以及在薄膜生长过程中的热力学、动力学知识等，（4）了解和掌握各种半导体薄膜微观结构的表征技术。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 半导体薄膜技术基础站内查询相似图书 | ||
| 9787121328800 如需购买下载《半导体薄膜技术基础》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 电子工业出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 45.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 26 × 19 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 印数 | ||
半导体薄膜技术基础是电子工业出版社于2018.2出版的中图分类号为 TN304.055 的主题关于 半导体薄膜技术－高等学校－教材 的书籍。