微机电系统力学

符号说明

绪论

第1章 微机电系统的发展与力学

1.1 微机电系统的起源

1.2 微机电系统的定义与内涵

1.3 微机电系统的特点

1.4 微机电系统的发展

1.5 微机电系统的材料和微加工技术

1.6 商品化的趋势

1.7 微机电系统对力学的需求

第2章 物理基本力

2.1 物质的构成

2.2 物理基本力

2.3 基本力的作用行程

2.4 微机电系统中的力

第3章 静电力

3.1 库仑定律

3.2 电场、电场强度

3.3 电势

3.4 电偶极子

3.4.1 电偶极子的电场

3.4.2 电偶极子电场的电势

3.5 电多极子与电势的多极展开

3.5.1 单极子项

3.5.2 偶极子项

3.5.3 四板子项

第4章 电—磁力

4.1 洛仑兹力

4.1.1 带电粒子在均匀磁场中的运动

4.1.2 带电粒子在非均匀磁场中的运动

4.2 安培力

4.2.1 安培力的定义

4.2.2 安培力的微观解释

4.2.3 栽流导线在磁场中所受到的磁力

4.2.4 载流线圈在磁场中所受到的磁力矩

4.2.5 平行载流导线间的相互作用力

第5章 范德瓦尔斯力

5.1 偶极子产生的电场

5.2 离子与偶极子间的相互作用能及作用力

5.3 偶极—偶极相互作用

5.4 角平均的偶极相互作用

5.5 偶极—诱导偶极相互作用

5.6 伦敦（London）—范德瓦尔斯（色散）力

5.7 分子问总的范德瓦尔斯相互作用

5.8 物体间的范德瓦尔斯力

第6章 卡西米尔力

6.1 卡西米尔力提出的背景

6.1.1 “零点能量”及卡西米尔力的探索

6.1.2 卡西米尔效应的进一步研究

6.2 卡西米尔力

6.2.1 卡西米尔力

6.2.2 卡西米尔效应

6.2.3 卡西米尔力的量子力学阐释

6.3 金属板间的卡西米尔力及做功

6.3.1 两平行导电金属板之间的卡西米尔力

6.3.2 两平行移动的平行平面的卡西米尔力

6.3.3 平板间距离变化时卡西米尔力作功

6.4 卡西米尔力对微加速度计性能的影响

第7章 微结构静电场及电场力

7.1 无限大平板模型

7.2 考虑边缘效应模型

7.2.1 基于分离变量法得到的级数解

7.2.2 基于保角变换计算式

7.2.3 考虑极板厚度时的边缘效应

7.2.4 边缘效应模型对比与分析

7.3 非平行平板电容器的电容计算

7.4 梳状结构电容的拐角效应

第8章 毛细力

8.1 毛细现象

8.2 毛细原理

8.3 毛细模型

8.3.1 表面张力

8.3.2 接触角与润湿现象

8.3.3 拉普拉斯方程

8.4 毛细力在平行板间的作用

8.4.1 液桥毛细力理论

8.4.2 两板间的粘附力模型

第9章 布朗力与噪声

9.1 布朗运动现象与噪声

9.2 噪声的一般性质

9.2.1 噪声的定义、特性及分类

9.2.2 研究噪声的意义

9.3 机械噪声（布朗力）

9.3.1 布朗力

9.3.2 单自由度弹簧质量系统布朗力

9.3.3 硅微陀螺机械热噪声

9.3.4 电容加速度计热噪声

9.4 电流热噪声

9.4.1 电流热噪声模型

9.4.2 电阻热噪声

9.4.3 阻容并联电路的热噪声

9.4.4 机械—电子噪声相似性

9.5 其他类型的电子噪声

9.5.1 PN结的散粒噪声

9.5.2 g-r噪声

9.5.3 1／f噪声

第10章 阻尼力

10.1 气体微流动基本概念及流速分类

10.2 流体动力学基本方程及边界条件

10.2.1 流体动力学基本方程

10.2.2 边界条件

10.3 压膜阻尼

10.3.1 雷诺方程

10.3.2 气体压膜阻尼的求解

10.3.3 几种常见结构的阻尼力解

10.3.4 气体压膜阻尼的挤压效应

10.3.5 其他因素对压膜阻尼力的影响

10.4 滑膜阻尼

10.4.1 滑膜阻尼基本方程

10.4.2 圆柱质量块结构的气体阻尼

10.4.3 无限大、薄多孔板间气体压膜阻尼分析

第11章 作用力的尺度效应和行程效应

11.1 作用力的尺度效应

11.2 作用力的行程效应

第12章 结构力学的微尺度效应

12.1 圆柱颗粒的分析

12.2 偶应力理论

12.3 一种特殊的应变梯度变形理论

12.4 微梁弯曲

第13章 微机械谐振陀螺的动力学特性

13.1 陀螺哥氏效应

13.2 动力学方程的建立

13.3 微机械梳齿式陀螺的静电驱动力

13.4 动力学方程求解及讨论

13.4.1 常值角速度下检测系统位移解

13.4.2 谐变角速度下检测系统的位移解

13.4.3 一般变角速度下检测系统的位移解

参考文献

《微机电系统力学》力图由浅入深，从物理基本力出发，按一定的章节次序，深入浅出地逐一介绍、阐述并讨论微机电系统中各种微观力的基本作用规律。微机电系统（MEMS）技术的发展突飞猛进，涵盖的领域日渐宽广，市场前景及对国民经济的影响日益广阔，人们对其原理、特性及规律的研究和认识也日趋深入。微机电系统的特征尺寸在微纳米范围，尺度上存在特殊性。但它并不是宏观机电系统的简单缩小，更不是微电子技术的简单外延。在微纳米尺度范围内，微结构的力学行为并不完全相似于宏观的结构，微机械的运动也并不完全相似于宏观的机械。材料本身的特性在微纳米尺度下也出现了新的值得探索的状况和问题。事实上，微机电系统技术的难度核心主要不是表现在微电子方面，而是表现在微机械或微结构方面，表现在微机械（或微结构）与微电子的有机结合方面。微机械的运动、微结构的变形、电子与机械的能量转换、微系统的智能控制等都是微机电系统的技术核心。而微机械的运动、微结构的变形、机械与电子的能量转换、微系统的智能控制等却更多地依赖于所处的力学环境。从力学的角度看，微纳米尺度下的力学环境相对于宏观尺度已发生了很大的变化。任何在宏观系统中认为微不足道的因素都有可能成为微机电系统中的重要因素。因此，就当前的科技发展水平，系统地阐述微纳米尺度下的力学特性、力学行为和力学规律是很必要的。