出版社：机械工业出版社
年代：2020
定价：99.0
本书共19章，分为两大部分：第1～9章为技术部分，讨论各类新型微机电系统（MEMS）器件；第10～19章属应用部分，详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。本书各章都具有完整性，既可以单独阅读，也可与其他章节连贯阅读。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 微机电系统（MEMS）站内查询相似图书 | ||
| 丛书名 | 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 | ||
| 9787111649588 如需购买下载《微机电系统（MEMS）》pdf扫描版电子书或查询更多相关信息，请直接复制isbn,搜索即可全网搜索该ISBN | |||
| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 机械工业出版社 |
| 版次 | 5版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 99.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 26 × 19 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 337 | 印数 | 2000 |
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