薄膜材料科学

薄膜材料科学

(美) 奥林 (Ohring,M.) , 著

出版社:国防工业出版社

年代:2012

定价:188.0

书籍简介:

本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,是一本薄膜材料科学领域的权威之作。

书籍目录:

第1章 材料科学基础第2章 真空科学与技术第3章 薄膜热蒸发过程第4章 放电、等离子体、离子与表面的相互作用第5章 薄膜制备的等离子体与离子束工艺第6章 化学气相沉积第7章 基底表面与薄膜成核第8章 外延生长第9章 薄膜结构第10章 薄膜及表面的特性第11章 薄膜内的互扩散、反应和相变第12章 薄膜的力学性能习题附录

内容摘要:

  《薄膜材料科学(第2版)》详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,各章后面附有习题,是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。该书自1992年第1版问市以来,深受材料科学界的广泛欢迎。非常适用于从事薄膜材料研究的专业研究人员、材料类院系高年级本科生和研究生作教材或参考书。本书由中国科学院物理研究所研究员曹则贤先生特别推荐。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787118081442
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出版地北京出版单位国防工业出版社
版次1版印次1
定价(元)188.0语种简体中文
尺寸26 × 19装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

薄膜材料科学是国防工业出版社于2013.2出版的中图分类号为 TB383 的主题关于 薄膜-工程材料 的书籍。