真空技术

1　绪论

1.1　真空技术与低温技术的关系

1.2　真空低温技术概况

1.3　真空低温技术的应用

1.3.1　冷冻真空干燥

1.3.2　真空压力浸渍

1.3.3 真空保鲜

1.3.4 空间真空低温技术

1.3.5　真空绝热与低温容器

1.3.6　低温真空泵

1.3.7 真空低温技术的其他应用

1.4　真空低温技术与设备研究的内容

2　真空技术基础

2.1　蒸发与凝结

2.2　气体的热传导

2.2.1 真空度较低（l《d）的情况

2.2.2 真空度较高（l>d）的情况

2.2.3 中真空（l≈d）的情况

2.3　真空状态下气体的流动

2.3.1 流动状态及其判据

2.3.2　流动过程的基本物理量及其相互关系

2.3.3 管道的流导计算

2.4　真空获得设备

2.4.1 真空泵的主要参数

2.4.2 国产真空泵型号、规格、性能表示法

2.4.3 水环泵

2.4.4 旋片泵

2.4.5 滑阀式真空泵

2.4.6 罗茨真空泵

2.4.7 油扩散泵

2.5　真空测量

2.5.1 弹性元件真空计

2.5.2 电容式薄膜真空计

2.5.3 电阻真空计

2.5.4　高压力热阴极电离真空计

2.5.5　真空测量技术

2.6　真空阀门

2.6.1 真空阀门的型号

2.6.2　真空低温技术与设备中常用的阀门

2.6.3 阀门上的密封材料

2.7　真空系统

2.7.1　真空系统设计中的主要参数

2.7.2　抽气时间计算

2.7.3　选泵与配泵

2.7.4　真空低温设备常用的抽气机组

2.8　检漏方法

2.8.1　最大允许漏率

2.8.2　静态升压检漏法

2.8.3　气泡检漏法

2.8.4　真空计检漏法

2.8.5 卤素检漏仪法

2.8.6　氦质谱检漏仪法

3　低温技术基础

3.1　低温技术的热力学基础

3.1.1 基本概念

3.1.2　热力学基本定律在制冷技术中的应用

3.1.3 制冷系数与卡诺定理

3.1.4 实际气体的性质

3.2　低温的获得

3.2.1 相变制冷

3.2.2 气体绝热膨胀制冷

3.2.3　其他低温获得方法

3.3　单级压缩制冷系统

3.3.1 单级压缩制冷系统的工作原理

3.3.2　单级压缩制冷系统的组成

3.3.3　制冷系统的热力计算

3.4　双级压缩制冷系统

3.4.1　双级压缩氟制冷系统

3.4.2　双级压缩氨制冷系统

3.5　复叠式和吸收式制冷系统

3.5.1 复叠式制冷系统

……

4　冷冻真空干燥技术与设备

5　真空压力浸渍技术与设备

6　真空保鲜技术与设备

7　空间真空低温技术

8　真空绝热与低温容器和真空玻璃

9　低温真空泵

参考文献

本书包括真空技术的物理基础及实际技术两大部分。物理基础部分由稀薄气体理论及固体一气体间的现象两章组成；实际技术部分包括真空获得、总压强测量、分压强测量、真空检漏技术及真空系统等5章。本书注重理论联系实际，科学系统性较完整，对问题的阐述力求做到理论严谨、概念准确。本书可作为电子物理与技术、半导体、微电子、冶金、真空设备和实验物理等有关专业的研究生及本科生教材使用，也可供有关真空技术应用方面的科技人员参考。