微纳米技术及其应用

微纳米技术及其应用

李德胜, 著

出版社:科学出版社

年代:2005

定价:25.0

书籍简介:

本书介绍了微纳米的基本理论,并对MEMS相关工艺作了详尽的介绍。

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9787030152886
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出版地北京出版单位科学出版社
版次1版印次1
定价(元)25.0语种简体中文
尺寸装帧平装
页数 270 印数

书籍信息归属:

微纳米技术及其应用是科学出版社于2005.05出版的中图分类号为 TB383 的主题关于 纳米材料-新技术应用 的书籍。