微传感器、微机电系统和灵巧器件

微传感器、微机电系统和灵巧器件

( ) 加德纳 (Gardner,J.W.) , ( ) 瓦拉旦 (Varadan,V.K.) , ( ) 韦德尔卡姆 (Wadelkarim,O.A.) , 著

出版社:清华大学出版社

年代:2004

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书籍简介:

微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍了微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,内容丰富新颖。本书适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

书籍目录:

PrefaceAbout the AuthorsAcknowledgments1 Introduction 2 Electronic Materials and Processing 3 MEMS Materials and their Preparation 4 Standard Microelectronic Technologies5 Silicon Micromachining:Bulk6 Silicon Micromachining:Surface7 Microstereolithography for MEMS8 Microsensors9 Introduction to SAW Devices10 Surface Acoustic Waves in Solids11 IDT Microsensor Parameter Measurement12 IDT Microsensor Fabrication

PrefaceAbout the AuthorsAcknowledgments1 Introduction 2 Electronic Materials and Processing 3 MEMS Materials and their Preparation 4 Standard Microelectronic Technologies5 Silicon Micromachining:Bulk6 Silicon Micromachining:Surface7 Microstereolithography for MEMS8 Microsensors9 Introduction to SAW Devices10 Surface Acoustic Waves in Solids11 IDT Microsensor Parameter Measurement12 IDT Microsensor Fabrication13 IDT Microsensors14 MEMS-IDT Microsensors15 Smart Sensors and MEMSAppendicesIndex

内容摘要:

微传感器、微机电系统(MEMS,micro=electro=mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(microsystems)或片上系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

书籍规格:

书籍详细信息
书名微传感器、微机电系统和灵巧器件站内查询相似图书
9787302081227
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出版地北京出版单位清华大学出版社
版次1版印次1
定价(元)语种英文
尺寸26装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

微传感器、微机电系统和灵巧器件是清华大学出版社于2004.出版的中图分类号为 TM38 ,TP212 的主题关于 微型-传感器-高等学校-教材-英文 ,微电机-高等学校-教材-英文 的书籍。