基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究

书籍简介:

本书介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器的方法，阐述了纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的制作方法，以及采用人工神经网络处理脉象检测结果的方法。

书籍规格:

书籍信息归属:

基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究是黑龙江大学出版社于2013.5出版的中图分类号为 TH789 的主题关于 脉象仪－研究 的书籍。