MEMS技术及应用

MEMS技术及应用

蒋庄德, 林启敬, 卢德江, 田边, 王久洪, 著

出版社:高等教育出版社

年代:2018

定价:36.0

书籍简介:

本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述,并随之以对MEMS典型应用的分类介绍,为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸,纳机电系统和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门的讨论。为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材是本书的出发点,为达此目的,本书在内容安排上注意做到基础理论知识和具体技术细节并重,力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。

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书籍详细信息
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9787040504781
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出版地北京出版单位高等教育出版社
版次1版印次1
定价(元)36.0语种简体中文
尺寸26 × 18装帧精装
页数印数 2500

书籍信息归属:

MEMS技术及应用是高等教育出版社于2018.8出版的中图分类号为 TM38 的主题关于 微电机 的书籍。