可重入制造系统的控制

可重入制造系统的控制

张洁, 吴立辉, 翟文斌, 著

出版社:科学出版社

年代:2008

定价:55.0

书籍简介:

本书以可重入制造系统--半导体制造系统的控制为研究对象,在全面总结国内外半导体制造系统控制领域研究成果的基础上,结合作者多年来对半导体制造系统控制的技术研究与应用成果,系统全面的介绍了可重入制造系统控制的技术研究、软件实现和企业应用等的全过程。全书共11章,首先从制造系统的概念出发,在对半导体制造工艺描述和特点分析的基础上,介绍了可重入制造系统控制过程的控制原理、建模、调度、预测控制、仿真等方法和技术;然后论述了可重入制造系统控制实现过程的关键技术;最后介绍了可重入制造系统控制的MES软件产品,并对MES软件的企业实施案例进行了系统的分析和介绍。

书籍目录:

前言

第1章绪论

第2章半导体制造系统介绍

第3章可重入制造系统的分层自适应控制系结构

第4章可重入制造系统控制方法基础

第5章可重入制造系统的分层协同控制技术

第6章可重入制造系统的重调度控制技术

第7章可重入制造系统的预测控制技术

第8章可重入制造系统的物流控制技术

第9章可重入制造系统的性能分析技术

第10章可重入制造系统的试验平台

第11章半导体制造系统控制软件及应用

参考文献

内容摘要:

  本书主要从可重入制造系统的控制体系结构、控制方法和控制性能分析方法等角度对可重入制造系统控制问题进行介绍。重点介绍可重入制造系统的分层自适应控制体系结构、分层协同控制技术、重调度控制技术、预测控制系统控制的实验证平台和在企业车间的信息化系统进行介绍。实例验证表明,本书提出的方法和技术可能效减少晶圆在制品库存,缩短晶圆产品交货期,提高半导体生产线的整体设备利用率,提高半导体企业的市场响应速度。本书可以为从事可重入系统控制等领域研究的科研人员、半导体企业信息化咨询顾问和项目实施工程师等提供参考与帮助;也可以作为机械工程、工业工程、自化、计算机工程、管理工程等相关专业的研究生和高年级本科生的教材和参考书。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787030226365
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出版地北京出版单位科学出版社
版次1版印次1
定价(元)55.0语种简体中文
尺寸24装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

可重入制造系统的控制是科学出版社于2008.出版的中图分类号为 TN305 的主题关于 半导体工艺-自动控制 的书籍。