出版社：浙江大学出版社
年代：2012
定价：35.0
本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。本书从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、流体流动和热传递的基本规律。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用压力传感器、力学传感器和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 硅微机械传感器站内查询相似图书 | ||
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| 出版地 | 杭州 | 出版单位 | 浙江大学出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 35.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 23 × 17 | 装帧 | 平装 |
| 页数 | 印数 | ||