微纳米加工技术及其应用

书籍简介:

本书集作者多年来的实践经验与研究成果，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。第四版在内容上反映了集成电路芯片加工技术的进步，不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。

书籍规格:

书籍信息归属:

微纳米加工技术及其应用是高等教育出版社于2020.6出版的中图分类号为 TB383 的主题关于 纳米材料－加工 的书籍。