薄膜制备技术基础

第1章薄膜技术

1.1生物计算(bio-computing)和薄膜技术

1.2医用微型机械

1.3人工脑的实现（μ-Electronics）

1.4大型显示的实现

1.5原子操控

1.6薄膜技术概略

参考文献

第2章真空的基础

2.1真空的定义

2.2真空的单位

2.3气体的性质

2.3.1平均速率Va

2.3.2分子直径δ

2.3.3平均自由程L

2.3.4碰撞频率Z

2.4气体的流动和流导

2.4.1孔的流导

2.4.2长管的流导（L/a≥100）

2.4.3短管的流导

2.4.4流导的合成

2.5蒸发速率

参考文献

第3章真空泵和真空测量

第4章真空系统

第5章薄膜基础

第6章薄膜的制备方法

第7章基板

第8章蒸镀法

第9章溅射

第10章气相沉积CVD和热氧化氮化

第11章刻蚀

第12章精密电镀

第13章平坦化技术

　　本书全面地介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技术，同时紧密结合当前薄膜领域最先进的技术、方法和装置进行阐述。书的内容广泛，由浅入深，对于初步接触这一领域的人员而言是一本较好的入门教材。　　本书较为系统、全面地介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技术，同时紧密结合当前薄膜领域最先进的技术、方法和装置。　　原外版书作者长期在薄膜科学与技术领域从事研究、开发和教育工作，有丰富的工作经验与广博的专业知识。本书自初版以来，已有三十余年，迄今已4次再版，反映了本书在这一领域具有较为深远的影响。　　本书的内容丰富，由浅入深，对于材料科学、微电子专业学生而言是一本良好的基础教材；对于在这一领域学习、工作的人员而言，具有很好的参考价值。