微纳米制造技术及应用

微纳米制造技术及应用

张德远, 等编著

出版社:科学出版社

年代:2015

定价:98.0

书籍简介:

微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等,涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科,是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章,内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等,全面地讲述了微纳米加工的各种方法,每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述,逻辑严谨、脉络清晰。本书文字通俗易懂、并配有大量的图解,有利于读者对各知识点的理解、掌握和运用;参考文献翔实,适于读者拓展阅读。

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书籍详细信息
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丛书名21世纪先进制造技术丛书
9787030457516
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出版地北京出版单位科学出版社
版次1版印次1
定价(元)98.0语种简体中文
尺寸24 × 17装帧平装
页数 276 印数

书籍信息归属:

微纳米制造技术及应用是科学出版社于2015.9出版的中图分类号为 TB303 的主题关于 纳米技术 的书籍。