光微机械

书籍简介:

本书共由三部分构成。第一部分重点介绍光微机电系统在各领域中的应用，即光开关、镜像陈列、衰减器；显示器、扫描仪；光谱检测化，可变波长光学元件；执行机构可动结构体；传感与传感器等第二部分是光微机电光学，主要介绍光微机电系统中应用的光学理，即光反射，折射，衍射，干涉，光辐射压等。第三部分主要介绍材料、加工、封装等。

书籍规格:

书籍信息归属:

光微机械是科学出版社于2004.06出版的中图分类号为 TH-39 ,TN2 的主题关于 光电子技术－机电一体化－研究 ,微电子技术－机电一体化－研究 的书籍。