半导体集成电路制造技术

半导体集成电路制造技术

张亚非等, 编著

出版社:高等教育出版社

年代:2006

定价:41.6

书籍简介:

半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业,本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术,既有基本原理和工艺技术的阐述,也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计版图,通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜淀积、n-p掺杂、微影光刻、金属化处理、封装与测试、生产集成与自动化等工艺整合,讲解集成电路产业技术。本书可作为大专院校微电子学和半导体专业本科生的教材,也可供有关专业工程技术人员阅读参考。

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书籍详细信息
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9787040182996
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出版地北京出版单位高等教育出版社
版次1版印次1
定价(元)41.6语种简体中文
尺寸24装帧精装
页数印数 100

书籍信息归属:

半导体集成电路制造技术是高等教育出版社于2006.05出版的中图分类号为 TN430.5 的主题关于 半导体集成电路-集成电路工艺-高等学校-教材 的书籍。