微纳米加工技术及其应用

书籍简介:

本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型工艺参数。充分分析各种技术的优缺点，及在应用过程中的注意事项。以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析。并以专门一章介绍微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，包括超大规模集成电路技术、纳米电子技术、光电子技术、高密度磁存储技术、微机电系统技术、生物芯片技术和纳米技术。通过应用实例说明现代高新技术与微纳米加工技术的不可分割的关系，并演示如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。

书籍规格:

书籍信息归属:

微纳米加工技术及其应用是高等教育出版社于2013.3出版的中图分类号为 TB383 的主题关于 纳米材料－新技术应用 的书籍。