出版社：科学出版社
年代：2013
定价：80.0
本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。
| 书籍详细信息 | |||
| 书名 | 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用站内查询相似图书 | ||
| 丛书名 | 纳米制造的基础研究学术著作丛书 | ||
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| 出版地 | 北京 | 出版单位 | 科学出版社 |
| 版次 | 1版 | 印次 | 1 |
| 定价(元) | 80.0 | 语种 | 简体中文 |
| 尺寸 | 24 × 17 | 装帧 | 精装 |
| 页数 | 360 | 印数 | |
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用是科学出版社于2013.11出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子技术－射频系统－研究 的书籍。