出版社:电子科技大学出版社
年代:2008
定价:16.0
本书主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。书中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法,包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。
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出版地 | 成都 | 出版单位 | 电子科技大学出版社 |
版次 | 1版 | 印次 | 3 |
定价(元) | 16.0 | 语种 | 简体中文 |
尺寸 | 26 | 装帧 | 平装 |
页数 | 146 | 印数 | 1500 |