薄膜物理与技术

薄膜物理与技术

杨邦朝, 王文生, 编著

出版社:电子科技大学出版社

年代:2008

定价:16.0

书籍简介:

本书主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。书中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法,包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787810167499
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出版地成都出版单位电子科技大学出版社
版次1版印次3
定价(元)16.0语种简体中文
尺寸26装帧平装
页数 146 印数 1500

书籍信息归属:

薄膜物理与技术是电子科技大学出版社于1994.01出版的中图分类号为 TB43 ,O484 的主题关于 薄膜技术 ,薄膜-表面物理学 的书籍。