传感器原理及其应用

前言 第1章 绪论 1．1 传感器的定义和组成 1．1．1 传感器的定义 1．1．2 传感器的组成 1．2 传感器的分类 1．2．1 按传感器检测的量分类 1．2．2 按传感器输出的信号性质分类 1．2．3 按传感器的结构分类 1．2．4 按传感器的功能分类 1．2．5 按传感器的能源分类 1．2．6 按传感器的转换原理分类 1．3 传感器的特性与主要性能指标 1．3．1 传感器静态特性与主要性能指标 1．3．2 传感器动态特性 1．4 传感器的发展趋势 1．4．1 开发新型传感器 1．4．2 开发新材料 1．4．3 微型传感器加工工艺的发展 1．4．4 传感器多功能集成化发展 1．4．5 传感器的智能化和网络化发展 参考文献 第2章 磁传感器概述 第3章 霍尔元件 第4章 磁敏电阻 第5章 磁敏二极管 第6章 磁敏三极管 第7章 其他磁传感器 第8章 压电效应与压阻效应 第9章 弹性元件的力学分析 第10章 压电式传感器 第11章 压阻式传感器 第12章 电容式传感器 第13章 硅各向异性腐蚀技术 第14章 传感器集成化 第15章 传感器CAD 附录I 压阻系数 附录Ⅱ 应力与应变的关系――弹性定律 附录Ⅲ 国外压力传感器和加速度传感器主要性能指标 附录Ⅳ 国际单位制主要单位及换算表

《传感器原理及其应用》系统地叙述了磁敏感元器件与磁传感器领域内霍尔元件、磁敏二极管、磁敏三极管等磁敏感元器件与磁传感器的基本结构、工作原理、主要特性及其应用；在阐述压阻效应、压电效应和弹性元件的力学分析基础上，详细叙述了压电式、压阻式传感器基本结构、工作原理、特性及其应用；详细阐述了硅各向异性腐蚀技术；针对传感器的集成化，详细论述MOSFETs压/磁传感器集成化；并给出MEMSCAD，阐述传感器的特性仿真。