压电微机电谐振器

书籍简介:

本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。本书共16章，包含4部分内容：第I部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料；第II部分介绍了相关谐振器的种类和特色；第III部分介绍了压电谐振器的较为先进的设计理念以及建模、测试和评估方法；第IV部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题，给出了相关案例。

书籍规格:

书籍信息归属:

压电微机电谐振器是机械工业出版社于2019.11出版的中图分类号为 TN629.1 的主题关于 微电机－谐振器－研究 的书籍。