中国电子信息工程科技发展研究

书籍简介:

本书试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍，尽量了避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在单项工艺角色介绍后，解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。给读者一个大生产中芯片制造的概况了解，读者可以针对自己的兴趣进一步阅读学习相关文献，了解工艺环节中的细节，从而能得以深造。

书籍规格:

书籍信息归属:

中国电子信息工程科技发展研究是科学出版社于2019.10出版的中图分类号为 G203 ,TN43 的主题关于 电子信息－信息工程－科技发展－研究－中国 ,集成芯片－制造－科技发展－研究－中国 的书籍。