微机电系统工程基础

前言

第1章微机电系统概述

1.1引言

1.1.1多年来的期盼

1.1.2发生在20世纪90年代的故事

1.2小机械，大机会

1.2.1三十年的积累

1.2.2第一个丰收的季节

1.2.3微型科技发展的动力

1.2.4小机械包含着大课题

1.3什么是微机电系统

1.3.1微机电系统的定义

1.3.2微机电系统的尺寸

1.3.3微型机械与微电子和普通机械的差异

1.4本书内容

1.5有关的刊物、会议和网站

参考文献

第2章微机电系统的制作（上）

2.1引言

2.1.1微细机械加工的特点

2.1.2关于加工单位的概念

2.1.3常用的微细加工方法的分类

2.2微型机械中使用的IC工艺

2.2.1IC工艺的概况

2.2.2IC工艺的主要步骤

2.3硅微结构制作工艺

2.3.1体微机械加工技术

2.3.2键合技术

2.3.3表面微机械加工技术

2.3.4封装

参考文献

第3章微机电系统的制作（下）

第4章常见的微型器件（上）几种典型的微传感器及其工作原理

第5章常见的微型器件（中）几种典型的微执行器及其工作原理

第6章常见微型器件（下）几种典型的微结构和微系统

第7章微检测技术

第8章微机电系统相关的固体力学基础知识

第9章微机电系统的设计和建模

第10章微尺度流体力学的相关基础知识

第11章微尺度传热基础知识

参考文献

　　本书保持了《微型机械导论》的风格：基本思路清晰，基本概念清楚；通俗易懂，深浅适宜；文字通畅，图文并茂；信息量大，覆盖面广；基本定律和分析计算均有定量（公式）描述。　　全书共分十一章，主要介绍了微机电系统的制作，常见的微型器件，微机电系统相关的固体力学基础知识，微尺度流体力学的相关基础知识，微尺度传热基础知识等。　　微机电系统是20世纪末兴起，并在21世纪初开始快速发展的高科技前沿领域。其所涉及领域不断扩大，相关研究也日趋深入。本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识，分析了微系统中的工程特点，与传统工程科学的区别，传统理论在微机电系统应用中所受到的限制及其修正，微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。　　本书可供高等学校相关专业高年级选做本科教育教材，也可以供感兴趣的研究生、科研人员参考之用。