氧化锌薄膜材料

氧化锌薄膜材料

刘耀东, 著

出版社:国防工业出版社

年代:2013

定价:28.0

书籍简介:

本书针对ZnO材料的发展趋势及应用背景,深入系统介绍了ZnO薄膜材料的本征特性及其掺杂机理,涉及了一些最新的制备技术,包括有溅射法、脉冲激光沉积(PLD)、原子层外延(ALE)、金属有机物汽相外延(MOCVD)、分子束外延(MBE) 等。本书的读者对象为从事半导体薄膜材料的制备的研究人员和在校师生。

书籍目录:

第一章ZnO结构及性质

1.1引言

1.2ZnO薄膜的晶体结构

1.3ZnO薄膜的光电特性

1.4ZnO薄膜的发光机理

1.5ZnO薄膜的研究现状

1.5.1ZnO的掺杂特性和pn结的制作

1.5.2ZnO薄膜的应用前景

1.6ZnO薄膜的制备方法

1.6.1分子束外延

1.6.2金属有机物气相外延

1.6.3纯锌膜氧化法

1.6.4磁控溅射法

1.6.5脉冲激光沉积法

1.6.6溶胶一凝胶法

内容摘要:

《氧化锌薄膜材料》由国防工业出版社出版。《氧化锌薄膜材料》由刘耀东著。《氧化锌薄膜材料》共七章包括ZnO结构及性质、ZnO的掺杂特性、不同铝含量沉积ZnO:Al薄膜、ZnO薄膜的低温沉积、N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂、ZnO结型器件、ZnO薄膜的应用、ZnO薄膜的晶体结构、ZnO薄膜的光电特性等内容。

书籍规格:

书籍详细信息
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9787118085365
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出版地北京出版单位国防工业出版社
版次1版印次1
定价(元)28.0语种简体中文
尺寸21 × 15装帧平装
页数印数

书籍信息归属:

氧化锌薄膜材料是国防工业出版社于2013.8出版的中图分类号为 TB383 的主题关于 氧化锌-薄膜-工程材料 的书籍。