(德) 温滋 (Menz,W.) , (德) 默尔 (Mohr,J.) , (德) 保罗 (Paul,O.) , 编著
出版社:化学工业出版社
年代:2003
定价:
本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法,如单品硅生产、光削技术、封装技术等。
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微系统技术是化学工业出版社于2003.07出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子技术 的书籍。
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