微系统技术

微系统技术

(德) 温滋 (Menz,W.) , (德) 默尔 (Mohr,J.) , (德) 保罗 (Paul,O.) , 编著

出版社:化学工业出版社

年代:2003

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书籍简介:

本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法,如单品硅生产、光削技术、封装技术等。

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9787502546922
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出版地北京出版单位化学工业出版社
版次1版印次1
定价(元)语种简体中文
尺寸20装帧平装
页数印数 4000

书籍信息归属:

微系统技术是化学工业出版社于2003.07出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子技术 的书籍。